Chiller冷热双路控温机组

适用范围

⽤于120℃⾼温供热⼲燥，另⼀侧25℃冷却捕集⽤途，轻松搭建由（夹套罐体+冷凝器+负压系统）构建废液回收系统⽤于废液回收升华控温，另⼀侧25℃冷凝捕集整体能效优于4.5。

全国服务热线 400-100-3163

产品特点

Product Features

产品参数

Product Parameter

型号	LTH-25
温度范围	热侧 80℃~125℃	冷侧 -15℃~30℃
控温精度	±0.5℃
制热量	60kW @120℃	35kW@10℃
控制器	可编程PLC
变频器	ABB变频器
压缩机	涡旋压缩机
输入/显示	7寸彩色触摸屏/PLC控制器
通信	Modbus RTU协议RS485接口、以太网TCP/IP协议
换热器	板式换热器
系统介质	乙二醇水溶液
接口尺寸	DN40 PN10
安全保护	具有自我诊断功能；冷冻机过载保护；高低压保护，过载继电器、热保护装置、排吸气温度保护、传感器故障保护等安全保障功能.。
电源	380V 50HZ 断路器63A

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感。

精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率。

半导体封测工艺过程控温解决方案

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能。

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