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半导体封测工艺过程控温

冠亚恒温有丰富的半导体封测行业产品研发经验,丰富的产品线满足行业各种控温需求。

产品包括:Chiller制冷加热系统FLTZ,Chiller制冷循环器LT,换热控温单元ETCU,直冷机ZLJ/ZLTZ,Chiller气体控温AES/LQ/AI/AET/气体干燥器,chamber试验箱等产品。

解决方案

SOLUTION

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节,包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性,还需要对温度进行严格控制,以确保产品的质量和性能。

典型的封装工艺流程为:划片、装片、键合、塑封、去飞边、电镀、打印、切筋和成型、外观检查、成品测试、包装出货。

Chiller制冷加热系统FLTZ系列
Chiller制冷循环器LT系列
换热控温单元ETCU系列
高效直冷控温系统ZLTZ/ZLJ系列
Chamber试验箱
Chiller气体控温系统AES/LQ/AI/AET/DR系列

FLTZ变频Chiller

—控温精度可达±0.05℃(出口温度稳态)

半导体温控装置Chiller 温度范围:-90~+100℃,主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,在系统中应用多种算法,实现系统快速响应、较高的控制精度。

LT定频系列Chiller

—压缩机复叠制冷,温度低至-80℃

冠亚恒温制冷循环器Chiller温度范围从-80℃到-5℃,采用二次过冷技术,制冷迅速。产品可靠性强,性能优异。

Chiller换热型

—无压缩机换热机组

冷却水温度5℃~+90℃,采用ETCU无压缩机换热系统,系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等,可以有效减少设备尺寸,减少操作步骤

ZLTZ高效换热控温机组

—高效换热,可⾃动回收导热介质

ZLTZ控温机组与微通道反应器组合成⾼放热量控温运⽤,同流量⼯况下相对于导热油换热控温传热效率5倍以上,同时进出⼝温差⼩,温度场均匀性⾼,特别适合剧烈放热反应的应⽤;

ZLJ系列直冷机

—可运用于⽓体捕集

将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进⼊⽬标控制元件(换热器)换热,从⽽使⽬标控制对象降温。具备换热能力相对于流体(⽓体)输送⼊换热器换热能⼒更⾼⼀般在5倍以上,这样特别适⽤于换热器换热⾯积⼩,但是换热量⼤的运⽤场所。

快速温变试验箱

—快速温变,升降温速率快

适用于环境应力筛选试验,通过对产品进行环境应力筛选,加速发现产品的设计缺陷,提高产品的可靠度。很多工业领域都已经认识到,高速温度变化循环试验可以找出已经进入生产测试阶段的不可靠的系统。它已经作为改进质量的一种标准方法,有效延长产品的正常工作寿命。

两箱冲击试验箱

—冲击测试,低温 -40~0℃ 高温 +60~+150℃

两箱式冷热冲击试验箱在进行高低温冲击试验时测试篮是移动的,主要是靠测试篮在高温区和低温区中上下移动来完成高低温冲击转换,两箱式比三箱式的冲击回复时间更短。

步入式试验箱

—控温范围:-80℃~+150℃

适用于整机或大型零部件的低温、高温、高低温变化、恒定湿热、高低温交变湿热等试验。可根据用户要求改变工作室尺寸与功能,采用拼块式箱体,造型美观大方,科学的风道设计,能满足不同客户的需求。

LQ系列气体冷却装置

—低温可达-110℃

应⽤于将⽓体(⽆腐蚀)降温使⽤:如⼲燥压缩空⽓、氮⽓、氩⽓等常温⽓体通⼊到LQ系列设备内部,出来的⽓体即可达到⽬标低温温度,供给需求测试的元件或换热器中。

AES系列热流仪

—升降温速率快,+150℃〜-55℃低于10S

射流式⾼低温冲击测试机给芯⽚、模块、集成电路板、电⼦元器件等提供精确且快速的环境温度。是对产品电性能测试、失效分析、可靠性评估的仪器设备。

AET系列气体快速温变测试机

—可选择控制出口气体温度和工艺目标过程温度

压缩空⽓进⼊⽓体快速温变测试机,内置有⼲燥器,预先把⽓体⼲燥到露点温度-70度以下,进⾏制冷加热控温输出稳定流量压⼒恒温的⽓体,对⽬标对象进⾏控温(如各类控温卡盘、腔体环境、热承板、料梭、腔体、电⼦元件等),可根据远程卡盘上的温度传感器进⾏⼯艺过程控温,⾃动调节输出⽓体的温度。

AI系列循环风系统

—循环风高低温恒温测试

运⽤于半导体设备⾼低温测试。电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源;独⽴的制冷循环⻛机组;可连续⻓时间⼯作,⾃动除霜,除霜过程不影响库温;

Dryer气体干燥器

—低露点⼲燥和清洁

应⽤于传感器、半导体制造、薄膜和包装材料执照、粉状物料运输、喷涂系统、⻝品⾏业、制药⾏业等需要实现-80℃低露点⼲燥和清洁的分布式⽓源。