冷冻机-工业冷冻机-高低温一体机
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FLTZ变频半导体控温Chiller
产品简介
半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。
chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。
FLTZ变频多通道控温Chiller
产品简介
半导体温控装置Chiller主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，产品有流体氟化液控温（最低-100度)、气体冷热快速温变、快速温变卡盘、低温气体制冷机（-120度）、直冷型制冷机组（-150度）等。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。
ETCU换热控温单元
产品简介
多通道独立控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤。