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晶圆高低温测试系统

晶圆高低温测试系统

晶圆高低温测试系统
  • 产品介绍



半导体晶圆热测试系统

冠亚高低温测试冷却盘,以其宽泛的温度测试范围、紧凑型制冷机,低能耗要求和纯空气可靠性而闻名。在双通道冷却操作中从冷却空气中提取zui大效果,消耗的超干燥、清洁的冷却剂空气可用作节省成本的吹扫气体,以防止晶圆和其周围区域结冰。在实验室和大规模生产中均表现出较高的性能。


用于在温度下进行晶片测试的导电加热和冷却系统。它的主要用途是用于在探针台中进行晶圆测试,以及激光修剪和晶圆老化。一些专门的应用包括低泄漏探测(fA级)和高压探测(高达10kV)。

l -75℃至+225℃

l 150mm,200mm和300mm

l现有探针台可进行改造






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