Chiller低温复叠制冷系列

半导体投入大，制造工序多，为了提高产品的良品率、确保收益，需要在半导体的每个环节进行质量把控，影响产品质量的其中一个重要因素就是温度，温度的稳定性及精准度非常重要，为获得稳定可靠的产品保驾护航。

冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验，我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务，有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

型号	FLT-803W	FLT-805W	FLT-806W	FLT-808W	FLT-810W
温度范围	-80℃～+80℃
控温精度	±0.1℃
流量控制	7～25L/min		12～45L/min
流量控制	流量控制采用变频器调节，根据流量传感器反馈信号自动调节转速，循环泵zui大压力6bar
制冷量@-70℃	0.6KW	1KW	1.5KW	2KW	3KW
加热功率	2KW	2KW	2KW	3.5KW	3.5KW
内循环液容积	4L	5L	6L	8L	10L
膨胀罐容积	10L	10L	15L	15L	20L
导热介质	氟化液
进出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
冷却水接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	G1	G1
冷却水@20℃	1.8m3/h	2.5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
电源	380V 50HZ
断路器	25A	25A	32A	40A	50A

型号	FLT-1002W	FLT-1004W
温度范围	-100℃～+80℃	-100℃～+80℃
控温精度	±0.1℃	±0.1℃
流量控制	7～25L/min	12～45L/min
	流量控制采用变频器调节，根据流量传感器反馈信号自动调节转速，循环泵zui大压力6bar
制冷量@-90℃	1.5KW	3KW
加热功率	3.5KW	5.5KW
内循环液容积	5L	8L
膨胀罐容积	10L	15L
导热介质	氟化液
导热介质接口	G3/4	G3/4
冷却水接口	G3/4	G1
冷却水@20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
电源	380V 50HZ	380V 50HZ
断路器	32A	63A
尺寸	7008001850	80012001850