FLTZ 5℃~90℃

温度范围5℃~90℃
内循环液容积4L~20L
膨胀罐容积10L~35L
制冷剂R410A
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯净水等
控温精度±0.1℃

半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，产品有流体氟化液控温（最低-100度)、气体冷热快速温变、快速温变卡盘、低温气体制冷机（-120度）、直冷型制冷机组（-150度）等。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。

型号	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
温度范围	5℃～90℃
控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
制冷量at10℃	6kW	8kW	10kW	15kW	20kW	25kW	40kW
内循环液容积	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨胀罐容积	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷剂	R410A
载冷剂	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯净水等（纯净水温度需要控制10℃以上）
进出接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷却水口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1	Rc1	Rc1 1/8
冷却水流量at20℃	1.5m³/h	2m³/h	2.5m³/h	4m³/h	4.5m³/h	5.6m³/h	9m³/h
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm	9740108	9740108	9740108	10543140	10543140	10860150	10860150