冷冻机-工业冷冻机-高低温一体机
【客户案例】某企业半导体制造中chiller制冷机应用案例
半导体chiller制冷机适用于工艺制程中准确控制反应腔室温度，是一种用于半导体制造过程中对设备或工艺进行冷却的装置。冠亚恒温可为其提供了定制化的半导体Chiller解决方案。该方案采用了制冷技术和智能控制系统，能够根据实际生产需求自动调节制冷量，确保生产环境始终保持在适合温度范围内。
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ETCU换热控温单元
- 参数标题参数内容
适用范围 多通道独立控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少…
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目前冠亚恒温半导体chiller制冷机按照不同产品类型，包括单通道和双通道，主要有FLTZ变频单通道系列（-100℃~+90℃）、FLTZ变频多通道系列（-45℃~+90℃）、无压缩机系列ETCU换热控温单元（+5℃-+90℃）
半导体行业投入大，制造工序繁多。冠亚恒温半导体chiller制冷机帮助客户在每个环节进行严格的质量把控，提供高稳定性的温度控制，保障产品的稳定性和可靠性。
冠亚恒温拥有超过14年的温度控制经验和与各行业配套的经验，为客户提供标准化和定制化的温度控制产品，结合专业技术知识，确保满足半导体工艺中的苛刻温度要求。
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