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无锡冠亚恒温制冷技术有限公司
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LTS系列半导体控温

LTS系列半导体控温

LTS系列半导体控温
  • 产品介绍

广泛运用在半导体制程中对反应腔室控温、热沉板控温及需要传热介质不可燃流体控温场所。

1、介质循环系统保压测试7bar。
2、采用高品质磁力泵,没有机械轴封。
3、优化温度采样及响应速度,专门设计控制算法,能快速响应到控温稳定。
4、增强循环泵能力设计,满足系统高扬程需求。
5、持续高温降温技术,满足在热沉板加载热量,需要冷热恒温控制时稳定运行。
6、针对氟化液易挥发特点,加强了接头设计、系统密封设计,确保介质使用寿命。

 

型号

LTS-202

LTS-202W

LTS-203

LTS-203W

LTS-204

LTS-204W

LTS-206

LTS-206W

LTS-208

LTS-208W

温度范围

 -20℃~80℃

控温精度

±0.1℃  at  -20℃~0℃

流量控制  

7~25L/min

12~45L/min

流量控制采用变频器调节,根据流量传感器反馈信号自动调节转速,循环泵最大压力5bar

内循环液容积

4L

5L

6L

8L

10L

膨胀罐容积

10L

10L

15L

15L

20L

系统压力显示

制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)

循环系统压力采集出口位置采用压力传感器检测显示在触摸屏上

控制器

西门子PLC,模糊PID控制算法,具备串级控制算法

温度控制

导热介质出口温度控制模式

外接温度传感器:(PT100或4~20mA或通信给定)控制模式(串级控制)

通信协议

以太网接口TCP/IP协议   

RS485接口 modbus RTU协议

设备内部温度反馈

设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有) 

密闭循环系统

整个系统为全密闭系统,低温不吸收空气中水份,不挥发导热介质,低温自动补充导热介质进入循环系统 

压缩机

艾默生谷轮/丹佛斯涡旋柔性压缩机

循环泵

德国品牌磁力循环泵

蒸发器

采用丹佛斯/高力板式换热器

冷凝器

微通道冷凝器(风冷)

板式换热器(水冷),特别注意:需要使用清洁厂务水

制冷附件

丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀)

操作面板

无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示\EXCEL 数据导出

安全防护

具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。

进出接口尺寸

G1/2

G1/2

G3/4

G3/4

G3/4

 

 

 

 

 

型号

LTS-402

LTS-402W

LTS-403

LTS-403W

LTS-404

LTS-404W

LTS-406

LTS-406W

LTS-408

LTS-408W

温度范围

  -40℃~80℃

控温精度

±0.1℃  -40℃~-10℃

流量控制  

7~25L/min

12~45L/min

流量控制采用变频器调节,根据流量传感器反馈信号自动调节转速,循环泵最大压力5bar

内循环液容积

4L

5L

6L

8L

10L

膨胀罐容积

10L

10L

15L

15L

20L

系统压力显示

制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)

循环系统压力采集出口位置采用压力传感器检测显示在触摸屏上

控制器

西门子PLC,模糊PID控制算法,具备串级控制算法

温度控制

导热介质出口温度控制模式

外接温度传感器:(PT100或4~20mA或通信给定)控制模式(串级控制)

通信协议

以太网接口TCP/IP协议   

RS485接口 modbus RTU协议

设备内部温度反馈

设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有) 

密闭循环系统

整个系统为全密闭系统,低温不吸收空气中水份,不挥发导热介质,低温自动补充导热介质进入循环系统 

压缩机

艾默生谷轮/丹佛斯涡旋柔性压缩机

循环泵

德国品牌磁力循环泵

蒸发器

采用丹佛斯/高力板式换热器

冷凝器

微通道冷凝器(风冷)

板式换热器(水冷),特别注意:需要使用清洁厂务水

制冷附件

丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀)

操作面板

无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示\EXCEL 数据导出

安全防护

具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。

进出接口尺寸

G1/2

G1/2

G3/4

G3/4

G3/4

 

 

型号

LTS-602

LTS-602W

LTS-603

LTS-603W

LTS-604

LTS-604W

LTS-606

LTS-606W

LTS-608

LTS-608W

温度范围

  -60℃~80℃

控温精度

±0.1℃  -60℃~-30℃

流量控制  

7~25L/min

12~45L/min

流量控制采用变频器调节,根据流量传感器反馈信号自动调节转速,循环泵最大压力5bar

内循环液容积

4L

5L

6L

8L

10L

膨胀罐容积

10L

10L

15L

15L

20L

系统压力显示

制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)

循环系统压力采集出口位置采用压力传感器检测显示在触摸屏上

控制器

西门子PLC,模糊PID控制算法,具备串级控制算法

温度控制

导热介质出口温度控制模式

外接温度传感器:(PT100或4~20mA或通信给定)控制模式(串级控制)

通信协议

以太网接口TCP/IP协议   

RS485接口 modbus RTU协议

设备内部温度反馈

设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有) 

密闭循环系统

整个系统为全密闭系统,低温不吸收空气中水份,不挥发导热介质,低温自动补充导热介质进入循环系统 

压缩机

艾默生谷轮/丹佛斯涡旋柔性压缩机

循环泵

德国品牌磁力循环泵

蒸发器

采用丹佛斯/高力板式换热器

冷凝器

微通道冷凝器(风冷)

板式换热器(水冷),特别注意:需要使用清洁厂务水

制冷附件

丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀)

操作面板

无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示\EXCEL 数据导出

安全防护

具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。

进出接口尺寸

G1/2

G1/2

G3/4

G3/4

G3/4

 

 

 

型号

LTS-802

LTS-802W

LTS-803

LTS-803W

LTS-804

LTS-804W

LTS-806

LTS-806W

LTS-808

LTS-808W

温度范围

  -80℃~80℃

控温精度

±0.1℃  -80℃~-50℃

流量控制  

7~25L/min

12~45L/min

流量控制采用变频器调节,根据流量传感器反馈信号自动调节转速,循环泵最大压力5bar

内循环液容积

4L

5L

6L

8L

10L

膨胀罐容积

10L

10L

15L

15L

20L

系统压力显示

制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)

循环系统压力采集出口位置采用压力传感器检测显示在触摸屏上

控制器

西门子PLC,模糊PID控制算法,具备串级控制算法

温度控制

导热介质出口温度控制模式

外接温度传感器:(PT100或4~20mA或通信给定)控制模式(串级控制)

通信协议

以太网接口TCP/IP协议   

RS485接口 modbus RTU协议

设备内部温度反馈

设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有) 

密闭循环系统

整个系统为全密闭系统,低温不吸收空气中水份,不挥发导热介质,低温自动补充导热介质进入循环系统 

压缩机

艾默生谷轮/丹佛斯涡旋柔性压缩机

循环泵

德国品牌磁力循环泵

蒸发器

采用丹佛斯/高力板式换热器

冷凝器

微通道冷凝器(风冷)

板式换热器(水冷),特别注意:需要使用清洁厂务水

制冷附件

丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀)

操作面板

无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示\EXCEL 数据导出

安全防护

具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。

进出接口尺寸

G1/2

G1/2

G3/4

G3/4

G3/4

 

 

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