低温冷冻机 – 冷冻机-工业冷冻机-高低温一体机

循环风控温装置在半导体测试中的应用

伊涅亚阿登迪 — Wed, 02 Apr 2025 01:48:20 +0000

循环风控温装置（如高低温循环一体机、高低温试验箱等）在半导体设备的高低温测试中通过准确的温度控制和环境模拟，保障了半导体产品的性能验证、可靠性评估及工艺优化。以下是其具体应用与技术特点的详细分析：

　　一、循环风控温装置应用场景

　　1、可靠性测试

　　循环风控温装置可模拟严苛温度环境，对半导体器件进行长时间的高低温循环测试，评估其在严苛条件下的性能衰减、失效机制及寿命预期。例如，通过模拟高温老化或低温启动场景，验证芯片的稳定性和抗热老化性。

　　2、热应力测试

　　半导体器件在温度快速变化时易因热膨胀系数差异导致封装开裂或分层。此类装置通过快速温度变化，模拟实际使用中的温度冲击，检测材料的耐热应力性能。

　　3、性能验证与工艺控制

　　电气性能测试：在不同温度下测量电阻、电容、漏电流等参数，确保器件在全工作温度范围内满足设计要求。

　　制程温控：应用于半导体扩散炉、反应腔室等设备的温度控制，保障化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）等工艺的稳定性。

　　4、材料与封装测试

　　对半导体材料或封装技术进行温度适应性测试，例如评估封装材料的热稳定性及低温收缩性能，加速材料筛选和工艺优化。

　　二、循环风控温装置技术特点与创新

　　1、宽温度范围与高精度控温

　　典型设备的温度覆盖范围可达-105℃至+125℃，部分型号甚至支持-80℃至+125℃的超低温应用，控温精度高达±0.05℃。

　　采用PID算法、预测控制及自适应技术，结合变频调节，显著提升响应速度和稳定性。

　　2、快速温度变化技术

　　通过热交换技术，实现温度快速升降，缩短测试周期。

　　模块化设计支持灵活扩展，满足不同工艺需求。

　　三、循环风控温装置实际应用案例

　　1、晶圆制造工艺

　　冠亚恒温FLTZ系列为刻蚀（Etch）、CVD/PVD工艺设计，准确调控反应腔体温度至±0.1℃，提升良率。

　　2、光模块测试

　　光模块热电温控系统模拟-40℃至+100℃环境，验证5G光模块在严苛温度下的性能稳定性。

　　3、封装测试与设备维护

　　冠亚恒温的高低温测试机通过密闭循环动态控制技术，优化半导体封装材料的热匹配性，并用于设备校准。

循环风控温装置通过准确控温、快速响应及可靠性验证、工艺优化及材料研发中的应用，不仅提升了产品质量，还更注重多场景适配能力。

LJ -45℃~-10℃

介质温度范围-45℃ ～10℃制冷剂R404A膨胀罐容积50L~400L电源AC380V 50HZ14kW~270kW重量800kg~5000kg制冷量AT-35℃6KW/5160Kcal/h~180KW/154800Kcal/h

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LD -80℃~-30℃

介质温度范围-80℃ ～-30℃制冷剂R404A/R23或R508B膨胀罐容积100L~750L电源AC380V 50HZ24kW~588kW重量950kg~8000kg制冷量AT-75℃4KW/3440Kcal/h~180KW/154800Kcal/h

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LT定频系列

介质温度范围-110℃ ～-50℃制冷剂R404A/R23/R14膨胀罐容积50L~400L电源AC380V 50HZ16kW~768kW

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LJ -45℃~-10℃

伊涅亚阿登迪 — Sun, 08 Oct 2023 05:32:39 +0000

LJ -45℃~-10℃

低温冷冻机低温制冷机

介质温度范围-45℃ ～10℃
制冷剂R404A
膨胀罐容积50L~400L
电源AC380V 50HZ14kW~270kW
重量800kg~5000kg
制冷量AT-35℃6KW/5160Kcal/h~180KW/154800Kcal/h

型号		LT8-1.5H	LT8-2	LT8-3	LT8-5
		LT8-1.5W	LT8-2W	LT8-3W	LT8-5W
温度范围		-75℃～-40℃	-80℃～-40℃
温控控制		ASET多功能控制器 4.3寸触摸屏
控温精度		±0.5℃
温度反馈		温度反馈 PT100 (进口温度、出口温度）
制冷量	-60℃	0.7kw	1kw	1.4kw	2.5kw
	-70℃	0.4kw	0.6kw	0.85kw	1.5kw
循环泵MAX		30L/min 1.6bar	30L/min 1.6bar	30L/min 1.6bar	30L/min 1.6bar
压缩机		泰康、艾默生谷轮等压缩机
蒸发器		板式换热器
操作面板		4.3寸彩色触摸屏显示设定温度和测量温度,记录温度曲线，数据导出采用excel格式
安全防护		具有自我诊断功能；冷冻机过载保护；高低压力传感器，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂		R-404A/R23
接口尺寸		ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
电源		AC220V / AC380V/ AC460V
外壳材质		冷轧板喷塑（REL7035）
通信协议		MODBUS RTU协议 RS485接口

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LN -60℃~-10℃

伊涅亚阿登迪 — Sun, 08 Oct 2023 05:32:06 +0000

LN -60℃~-10℃

低温冷冻机低温制冷机

介质温度范围-60℃ ～-10℃
制冷剂R404A/R23
膨胀罐容积100L~750L
电源AC380V 50HZ16kW~300kW
重量800kg~5600kg
制冷量AT-55℃6KW/5160Kcal/h~180KW/154800Kcal/h

width=”450px” height=”300px”

型号	LN-6W	LN-10W	LN-15W	LN-20W	LN-30W	LN-40W	LN-60W	LN-90W	LN-120W
温度范围	-60°C~ -10°C
制冷量 At -55°C	6kW	10kW	15kW	20kW	30kW	40kW	60kW	90kW	120kW
制冷量 At -55°C	5160 Kcal/h	8600 Kcal/h	12900 Kcal/h	17200 Kcal/h	25800 Kcal/h	344000 Kcal/h	51600 Kcal/h	77400 Kcal/h	103200 Kcal/h
循环泵	6.6m³/h	9m³/h	15m³/h	15m³/h	25m³/h	25m³/h	25m³/h
循环泵	1.5bar	1.5bar	1.5bar	2.5bar	2.5bar	2.5bar	2.5bar
进出液尺寸	DN-25 PN-10	DN-32 PN-10	DN-40 PN-10	DN-40 PN-10	DN-50 PN-10	DN-50 PN-10	DN-50 PN-10	DN-65 PN-10	DN-65 PN-10
冷却水 30度	10m³/h DN40	14m³/h DN50	20m³/h DN65	25m³/h DN65	30m³/h DN80	35m³/h DN80	50m³/h DN100	70m³/h DN125	90m³/h DN125
膨胀罐（标配）	100L	175L	250L	350L	500L	600L	750L
压缩机	艾默生谷轮涡旋压缩机、卡莱尔、都凌半封闭压缩机					卡莱尔、汉钟、复盛、比泽尔螺杆压缩机
操作面板	7寸彩色触摸屏显示输入、温度曲线记录
控制系统	PLC及模块
全密闭系统	整个系统为全密闭系统，低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质。
循环泵	无锡冠亚磁力驱动泵
蒸发器	板式换热器
节流方式	电子膨胀阀
冷凝器	套管式水冷冷凝器/列管式水冷冷凝器
中间换热器	高力板式换热器/沈氏套管换热器
制冷附件	油分离器、干燥过滤器、膨胀阀、视镜等均采用艾默生/丹佛斯等品牌
电气	交流接触器、中间继电器、断路器、热继电器等选择施耐德/ABB/西门子品牌
制冷剂	R404A /R23
载冷剂	无腐蚀性液体, 乙醇水溶液、导热油等
安全保护	高压保护、断水保护、有过电流保护、漏电保护、相续与断相保护、高温保护、传感器故障、低液位报警等多重安全保护
液位指示	采用玻璃液位指示
管路材质	膨胀罐、蓄冷罐、循环管路均采用 SUS304
外壳材质	槽钢+方管+冷轧板封板喷塑7035
外形尺寸cm	100150 185	100150 185	200145 205	250145 225	250145 225	350160 245	350160 245	400160 245	500200 260
电源 380V 50HZ	16kW	20kW	32kW	36kW	64kW	93kW	122kW	152kW	200kW
噪音	75分贝以内		80分贝以内			90分贝以内
重量kg	850	1000	1200	1450	2000	2400	3000	3600	4200
选配	选配外置触摸屏控制器，通信线距离10m
选配	选配防爆型触摸屏控制系统（ExdellBT4),通信线距离15m

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LD -80℃~-30℃

伊涅亚阿登迪 — Sun, 08 Oct 2023 05:31:30 +0000

LD -80℃~-30℃

低温冷冻机低温制冷机

介质温度范围-80℃ ～-30℃
制冷剂R404A/R23或R508B
膨胀罐容积100L~750L
电源AC380V 50HZ24kW~588kW
重量950kg~8000kg
制冷量AT-75℃4KW/3440Kcal/h~180KW/154800Kcal/h

width=”450px” height=”300px”

型号	LD-4W	LD-6W	LD-8W	LD-12W	LD-20W	LD-30W	LD-40W	LD-60W
温度范围	-80°C~ -30°C
制冷量 At -75°C	4kW	6kW	8kW	12kW	20kW	30kW	40kW	60kW
制冷量 At -75°C	3440Kcal/h	5160Kcal/h	6880Kcal/h	10320Kcal/h	17200Kcal/h	25800Kcal/h	34400Kcal/h	51600Kcal/h
循环泵	6.6m³/h	6.6m³/h	9m³/h	15m³/h	25m³/h	25m³/h	25m³/h
循环泵	1.5bar	1.5bar	1.5bar	1.5bar	2.5bar	2.5bar	2.5bar
进出液尺寸	DN-25 PN-10	DN-25 PN-10	DN-32 PN-10	DN-40 PN-10	DN-50 PN-10	DN-50 PN-10	DN-50 PN-10	DN-65 PN-10
冷却水 30度	10m³/h DN40	14m³/h DN50	20m³/h DN65	25m³/h DN65	35m³/h DN80	45m³/h DN100	65m³/h DN100	90m³/h DN125
膨胀罐（标配）	100L	175L	250L	350L	500L	600L	750L
压缩机	艾默生谷轮、卡莱尔、汉钟、复盛、比泽尔压缩机
操作面板	7寸彩色触摸屏显示输入、温度曲线记录
控制系统	PLC及模块
全密闭系统	整个系统为全密闭系统，低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质。
循环泵	无锡冠亚磁力驱动泵
蒸发器	板式换热器
节流方式	电子膨胀阀
冷凝器	套管式水冷冷凝器/列管式水冷冷凝器
中间换热器	高力板式换热器/沈氏套管换热器
制冷附件	油分离器、干燥过滤器、膨胀阀、视镜等均采用艾默生/丹佛斯等品牌
电气	交流接触器、中间继电器、断路器、热继电器等选择施耐德/ABB/西门子品牌
制冷剂	R404A /R23或R508B
载冷剂	乙醇、二氯甲烷、导热油等
安全保护	高压保护、断水保护、有过电流保护、漏电保护、相续与断相保护、高温保护、传感器故障、低液位报警等多重安全保护
液位指示	采用玻璃液位指示
管路材质	膨胀罐、蓄冷罐、循环管路均采用 SUS304
外壳材质	槽钢+方管+冷轧板封板喷塑7035
外形尺寸cm	100150185	200145205	200145205	250145225	250145225	350160245	400160245	400160245
电源 380V 50HZ	24kW	27kW	38kW	51kW	69kW	101kW	136kW	200kW
噪音	75分贝以内		80分贝以内			90分贝以内
重量kg	950kg	1100kg	1400kg	1800kg	2200kg	3000kg	3500kg	4000kg
选配	选配外置触摸屏控制器，通信线距离10m
选配	选配防爆型触摸屏控制系统（ExdellBT4),通信线距离15m

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LT定频系列

伊涅亚阿登迪 — Sun, 08 Oct 2023 05:30:56 +0000

LT定频系列

低温冷冻机低温制冷机

介质温度范围-110℃ ～-50℃
制冷剂R404A/R23/R14
膨胀罐容积50L~400L
电源AC380V 50HZ16kW~768kW
重量950kg~9000kg
制冷量AT-105℃2KW/1720Kcal/h~120KW/103200Kcal/h

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LC -25℃~5℃

伊涅亚阿登迪 — Sun, 08 Oct 2023 05:30:27 +0000

LC -25℃~5℃

低温冷冻机低温制冷机

介质温度范围-25℃ ～5℃
制冷剂R404A/R507C
膨胀罐容积100L~750L
电源AC380V 50HZ12kW~247kW
重量800kg~5000kg
制冷量AT-20℃12KW/10320Kcal/h~360KW/309600Kcal/h

型号	LC-12W	LC-20W	LC-30W	LC-40W	LC-60W	LC-80W	LC-120W	LC-180W
温度范围	-25°C~ 5°C
制冷量 At -20°C	12kW	20kW	30kW	40kW	60kW	80kW	120kW	180kW
制冷量 At -20°C	10320Kcal/h	17200Kcal/h	25800Kcal/h	34400Kcal/h	51600Kcal/h	68800Kcal/h	103200Kcal/h	154800Kcal/h
循环泵	6.6m³/h	9m³/h	15m³/h	15m³/h	25m³/h	25m³/h	25m³/h	/
循环泵	1.2bar	1.2bar	2.5bar	2.5bar	2.5bar	2.5bar	2.5bar	/
进出液尺寸	DN-25 PN-10	DN-25 PN-10	DN-32 PN-10	DN-32 PN-10	DN-40 PN-10	DN-40 PN-10	DN-40 PN-10	DN-50 PN-10
冷却水 30度	8m³/h DN40	10m³/h DN40	16m³/h DN50	20m³/h DN65	25m³/h DN65	30m³/h DN80	38m³/h DN80	55m³/h DN100
蓄冷罐	100L	175L	250L	350L	500L	600L	750L	/
压缩机	艾默生谷轮、意大利都凌半封闭压缩机、卡莱尔					卡莱尔、汉钟、复盛、比泽尔螺杆压缩机
控制系统	PLC及模块
全密闭系统	整个系统为全密闭系统，低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质。
循环泵	无锡冠亚磁力驱动泵
蒸发器	板式换热器
节流方式	电子膨胀阀
冷凝器	套管式水冷冷凝器/列管式水冷冷凝器
中间换热器	高力板式换热器/沈氏套管换热器
制冷附件	油分离器、干燥过滤器、膨胀阀、视镜等均采用艾默生/丹佛斯等品牌
电气	交流接触器、中间继电器、断路器、热继电器等选择施耐德/ABB/西门子品牌
制冷剂	R404A /R507C
载冷剂	无腐蚀性液体, 乙醇水溶液、乙二醇水溶液、导热油等
安全保护	高压保护、断水保护、有过电流保护、漏电保护、相续与断相保护、高温保护、传感器故障、低液位报警等多重安全保护
液位指示	采用玻璃液位指示
管路材质	膨胀罐、蓄冷罐、循环管路均采用 SUS304
外壳材质	槽钢+方管+冷轧板封板喷塑
外形尺寸cm	100150185	100150185	200145205	200145205	250145225	250145225	300160225	350160205
电源 380V 50HZ	12kW	17kW	26kW	38kW	50kW	61kW	86kW	127kW
噪音	75分贝以内		80分贝以内			90分贝以内
重量kg	800	950	1100	1350	1500	1800	2400	3100

低温冷阱，又称为“低温反应浴”、“低温恒温槽”，是响应实验室及中试反应新需求而开发的一种新型低温设备，该类设备可代替干冰和液氮做低温反应，温度可在有效范围内任意设定及控制，如生物医学、实验研究等需要高精度温度提供的冷源。也广泛应用在医院科研生物酶等方面实验和鉴定工作中。

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直冷式冷冻机

伊涅亚阿登迪 — Sun, 08 Oct 2023 05:30:09 +0000

直冷式冷冻机

低温冷冻机低温制冷机

介质温度范围-110℃ ～-150℃
制冷剂R404A/R508B/R14/R50混合制冷剂
压缩机都凌/拉莱尔
油分离器艾默生
重量350kg~950kg
蒸发器面积2㎡~7.8㎡

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循环风控温装置在半导体测试中的应用

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